在半導(dǎo)體制造過程中，清洗工藝不僅是保證晶圓表面潔凈度的關(guān)鍵步驟，更關(guān)系到器件電性能與可靠性的穩(wěn)定。其中，金屬離子的控制成為半導(dǎo)體清洗材料設(shè)計和應(yīng)用中的重要指標。

金屬離子污染可能源自清洗液本身、設(shè)備管路殘留或清洗過程中帶入的微量雜質(zhì)。即便低濃度（ppb級）的金屬離子，也可能引發(fā)晶圓表面電荷失衡、氧化物層劣化或界面陷阱等問題，影響MOS器件閾值電壓或漏電流，導(dǎo)致良率下降。

在實際應(yīng)用中，常用的清洗液如SC1（NH?OH+H?O?+H?O）和SC2（HCl+H?O?+H?O）均具備一定去金屬離子能力，但仍需在化學(xué)配方和工藝參數(shù)中加以控制。例如SC2可通過絡(luò)合反應(yīng)將Cu、Fe、Ni等金屬離子溶解帶出，同時避免再次沉積。此外，還需使用超純水稀釋，減少雜質(zhì)帶入。

為實現(xiàn)更低金屬污染，一些高工藝節(jié)點采用螯合劑添加劑、樹脂吸附系統(tǒng)或多段漂洗組合，有效降低清洗后殘留金屬含量。尤其在FinFET、EUV等制程中，控制金屬離子已成為保障器件性能的必要條件。

半導(dǎo)體清洗材料中金屬離子的控制直接影響到器件電性穩(wěn)定、結(jié)構(gòu)完整性和產(chǎn)品良率，是清洗工藝中的關(guān)鍵技術(shù)點。未來，隨著器件尺寸不斷微縮，對清洗材料的純度要求也將持續(xù)提升。