X射線成像技術(shù)廣泛應(yīng)用于無(wú)損檢測(cè)、電子封裝分析及材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察中。其中,X射線三維顯微成像與CT(Computed Tomography)掃描是兩種常用技術(shù),雖然都具備三維成像能力,但在成像方式、分辨率和應(yīng)用領(lǐng)域上存在顯著差異。
X射線三維顯微成像是一種微尺度的層層掃描方式,通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品和逐層獲取投影圖像,經(jīng)計(jì)算機(jī)重建得到三維立體圖。其優(yōu)勢(shì)在于高分辨率,尤其適用于微米或納米級(jí)別樣品的結(jié)構(gòu)觀察,如半導(dǎo)體封裝內(nèi)部裂紋、BGA焊點(diǎn)氣孔等。成像焦點(diǎn)集中于微觀結(jié)構(gòu),適合失效分析和工業(yè)檢測(cè)。
CT掃描則更側(cè)重于宏觀成像,多用于醫(yī)療診斷和大體積結(jié)構(gòu)檢測(cè)。其成像方式是通過(guò)探測(cè)器接收穿透樣品的X射線強(qiáng)度變化,再通過(guò)重建算法還原出物體的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。CT系統(tǒng)的分辨率受限于X射線源、探測(cè)器及算法,對(duì)細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)不如三維顯微成像清晰。
另一個(gè)區(qū)別在于樣品尺寸與材料密度適應(yīng)性。X射線顯微鏡適合小尺寸樣品,成像精度高但對(duì)重金屬或高密度材料透射能力有限;而CT系統(tǒng)在大體積檢測(cè)、不同密度材料混合結(jié)構(gòu)分析中更具適應(yīng)性。
X射線三維顯微成像更適合微結(jié)構(gòu)、高精度需求的行業(yè)應(yīng)用,如電子、半導(dǎo)體、材料科研等;而CT掃描則適用于醫(yī)療、航空、機(jī)械結(jié)構(gòu)等領(lǐng)域的整體檢測(cè)。兩者在精度與適用范圍上的互補(bǔ)性,為不同場(chǎng)景提供了有效檢測(cè)手段。
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